4 月 1 日消息，據東方晶源發布，近日，東方晶源首臺 8 英寸關鍵尺寸量測裝備(CD-SEM)出機國內集成電路制造和整體方案提供商燕東微電子。自 2021 年 6 月首臺 12 英寸 CD-SEM 出機后，東方晶源在電子束量測領域再次取得重大進展。
東方晶源首臺 8 英寸關鍵尺寸量測設備(型號：SEpA-c300)基于東方晶源 12 英寸關鍵尺寸量測設備的技術積累，面向 90nm 以上技術節點的成熟工藝。具有對標 12 英寸主流設備的成像分辨率、百微米級大視場成像能力、多樣化量測算法，可以滿足客戶對不同產品線、多種應用場景下的量測需求。以關鍵尺寸量測設備為例，目前市場上流通的 8 英寸設備絕大多數是二手翻新設備，具有性能指標不高及設備穩定性差等問題。東方晶源旨在解決些問題。
公開信息顯示，東方晶源是國內電子束檢測、量測設備領先廠商，曾承擔國家 02 重大專項 — 電子束硅片圖形缺陷檢測設備研發與產業化項目并驗收通過;首臺套電子束缺陷檢測設備(EBI)已完成產線驗證并獲得重復訂單。東方晶源在電子束檢測、量測領域已填補多項國內空白。目前該公司已經和國內大部分主要晶圓代工企業建立了合作關系。
